製品属性(仕様)

製品画像(様子)

特徴

この精密ウエハステージの加工素材であるアルミ（A5052）は展延性が高いため、砥石の目づまりが発生しやすく、研削加工が非常に難しい材質です。そのため、平面度・平行度5μm以下を実現するためには、最適な砥石の選定・砥石周速度・切込量の設定等が必要です。また、最後に黒アルマイト処理を行っています。黒アルマイト処理とはアルマイト処理後に黒色の染料にて黒色に着色を行う表面処理方法です。